Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C9, Décembre 1984
31st International Field Emission Symposium / 31ème Symposium International d'Emission de Champ
Page(s) C9-329 - C9-335
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984955
31st International Field Emission Symposium / 31ème Symposium International d'Emission de Champ

J. Phys. Colloques 45 (1984) C9-329-C9-335

DOI: 10.1051/jphyscol:1984955

THE FIM100 - PERFORMANCE OF A COMMERCIAL ATOM PROBE SYSTEM

A. Cerezo1, G.D.W. Smith1 et A.R. Waugh2

1  Department of Metallurgy and Science of Materials, University of Oxford, Parks Road, Oxford OX1 3PH, U.K.
2  VG Scientific Ltd., The Birches industrial Estate, Imberhorne Lane, East Grinstead, Sussex, RH19 1UB, U.K.


Résumé
La sonde à atomes VG Scientific FIM100 offre la possibilité de pulser l'échantillon soit par la tension soit par laser. La compensation en énergie par un analyseur à secteur électrostatique conduit à des résolutions en masse de 2000 mesurées à mi-hauteur en mode d'impulsions de tension. Les propriétés de transmission et de résolution en masse du système sont décrites et des résultats préliminaires sur Alnico 5 et sur la martensite Fe-Ni-C sont reportés. Le "pile-up" des ions est considéré et une procédure de correction statistique des analyses est proposée.


Abstract
The VG Scientific FIM100 Atom Probe system has facilities for both voltage and laser pulsing of the specimen. Energy compensation by an electrostatic sector analyser yields FWHM mass resolutions of 2000 when using voltage pulses. The transmission and mass resolution properties of the system are described and preliminary results on Alnico5 and Fe-Ni-C martensite are reported. 'Pile-up' of ions is considered and a procedure for statistical correction of analyses is proposed.