| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-307 - C2-308 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984268 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-307-C2-308
DOI: 10.1051/jphyscol:1984268
1 Départment de Physique des Matériaux, Université Claude Bernard, Lyon I, 69622 Villeurbanne Cedex, France
2 ISA RIBER, 133-137 Boulevard National, 92503 Rueil-Malmaison, France
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-307-C2-308
DOI: 10.1051/jphyscol:1984268
CANON À ÉMISSION DE CHAMP POUR MICROANALYSE PAR SPECTROSCOPIE D'ÉLECTRONS AUGER
P. Morin1 et F. Simondet21 Départment de Physique des Matériaux, Université Claude Bernard, Lyon I, 69622 Villeurbanne Cedex, France
2 ISA RIBER, 133-137 Boulevard National, 92503 Rueil-Malmaison, France
Résumé
Un canon à émission de champ destiné à la microanalyse Auger a été developpé. La résolution spatiale de la sonde a été déterminée expérimentalement en fonction de l'intensité et de l'énergie du faisceau électronique. Les possibilités d'analyse de la microsonde ont été testées sur des îlots d'argent déposés sur une matrice de silicium.
Abstract
An electrostatic field emission microscope has been built to performe Auger analysis in small area (0,1 µm) in the 1 to 10 keV energy range. Micro Auger analysis have been demonstrated using silver clusters in a silicon matrix as a function of beam energy.