Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
Page(s) C2-265 - C2-269
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984259
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis

J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-265-C2-269

DOI: 10.1051/jphyscol:1984259

QUANTITATIVE MICROANALYSIS OF SOLID SAMPLES WITH THE LASER PROBE MASS SPECTROMETRY II (L.P.M.S. II)

J.F. Eloy

DERDCA-SEA-SEAPC - CEN.Grenoble, 85 X, 38041 Grenoble Cedex, France


Résumé
La spectrographie de masse à sonde laser est capable d'analyser directement des micro-volumes d'échantillons isolants ou conducteurs, minéraux ou organiques. Cette méthode permet des études analytiques : - d'inclusions solides superficielles ou internes - des relevés de profils de concentration multiélémentaire - d'inhomogénéités superficielles de matériau - de phase La méthode de quantification des résultats par le modèle d'ionisation de SAHA-EGGERT a été appliquée à différents problèmes géologiques et sur des produits nouveaux en électronique du type monocristaux tel que fluorure, oxyde, etc.


Abstract
The laser probe mass spectrograph (L.P.M.S. II) is able to analyse directly micro-volumes of insolator or, conductor, minerals or organical samples. This method permits to study : - the solid inclusions inside of material - the multielementary profiles of concentration - the superficial homogeneity of materials - the phasis For geological and electronical materials (fluorine, oxide...) analysis, the validity of the SAHA-EGGERT model to determine the ionization factors has been tested successfully.