| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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|---|---|---|
| Page(s) | C2-219 - C2-222 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984248 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-219-C2-222
DOI: 10.1051/jphyscol:1984248
University Engineering Department, Trumpington Street, Cambridge CB2 1PZ, U.K.
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-219-C2-222
DOI: 10.1051/jphyscol:1984248
COMPUTER TECHNIQUES FOR TOPOGRAPHICAL ANALYSIS IN THE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
P. Atkin et K.C.A. SmithUniversity Engineering Department, Trumpington Street, Cambridge CB2 1PZ, U.K.
Résumé
Nous rappelons les techniques utilisant l'ordinateur et permettant les mesures en trois dimensions dans le SEM.
Abstract
We survey the computer techniques which can facilitate three-dimensional measurements in the SEM.