Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-383 - C10-386
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831078
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-383-C10-386

DOI: 10.1051/jphyscol:19831078

IMMERSION-TYPE TRANSMISSION ELLIPSOMETRY OF VERY THIN METAL FILMS

M. Yamamoto1, K. Ichiji2, Y. Wada2, K. Takeuchi2 et K. Kinosita2

1  Research Institute for Scientific Measurements, Tohoku University, Sendai 980, Japan
2  Department of Physics, Gakushuin University, Mejiro, Toshima-ku, Tokyo 171, Japan


Résumé
Une couche mince de métal est déposée sur la face la plus longue d'un prisme rectangulaire d'indice no. Cette couche est recouverte par un film mince transparent de liquide du même indice no, puis est prise en "sandwich" en plaçant par-dessus un autre prisme identique au premier. On détermine ainsi le rapport des amplitudes complexes transmises, en polarisation p et s, par le film qui est ainsi "suspendu" dans un milieu uniforme d'indice no, ce qui permet d'evaluer les constantes optiques de ce film.


Abstract
The metal film is deposited on the longer face of a rectangular prism of index no. The film is covered by a thin, transparent liquid film of index no, and is sandwiched by placing another, identical prism on top of it. The ratio in complex amplitude transmissivity for the p- and s-polarized light of the film thus optically "suspended" in a uniform medium of index no is determined, from which the optical constants of the film are evaluated.