Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C10, Décembre 1983
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis
Page(s) C10-79 - C10-82
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:19831016
Conférence Internationale sur Ellipsométrie et autres Méthodes Optiques pour l'Analyse des Surfaces et Films Minces / Ellipsometry and other Optical Methods for Surface and Thin Film Analysis

J. Phys. Colloques 44 (1983) C10-79-C10-82

DOI: 10.1051/jphyscol:19831016

GEOMETRICAL RESOLUTION IN THE COMPARISON ELLIPSOMETER

L. Stiblert et T. Sandström

Research Laboratory of Electronics, Chalmers University of Technology, S-412 96 Gothenburg, Sweden


Résumé
On a étudié la résolution géométrique de l'ellipsomètre par comparaison. Les principaux mécanismes qui limitent l'étude d'éléments de surface microscopiques par ellipsométrie sont identifiés et étudiés de façon qualitative à l'aide d'un prototype d'ellipsomètre par comparaison à résolution microscopique. On montre qu'une illumination incohérente de l'échantillon est essentielle pour obtenir une bonne image. Limité par l'ouverture du condenseur, le prototype a une résolution géométrique de 2 microns. Il a permis de mesurer l'épaisseur d'un film d'oxyde dans des trous circulaires de 4 microns.


Abstract
A preliminary study has been made of the trade-off between geometrical resolution and ellipsometrical sensitivity in the comparison ellipsometer. The main mechanisms that disturb the ellipsometric study of small surface elements have been identified and studied in a qualitative way by means of a comparison ellipsometer prototype with microscopic resolution. It is shown that incoherent illumination of the sample is essential for a good image. Limited by the available condensor aperture (NA=0. 25.) the prototype has a geometrical resolution of 2 microns and permits oxide thickness measurements in 4 micron circular holes.