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J. Phys. Colloques
Volume 38, Numéro C5, Novembre 1977
COLLOQUE INTERNATIONAL DU C.N.R.S.Propriétés Optiques des Interfaces Solide-Liquide / Optics at the Solid-Liquid Interface |
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| Page(s) | C5-77 - C5-88 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1977509 | |
Propriétés Optiques des Interfaces Solide-Liquide / Optics at the Solid-Liquid Interface
J. Phys. Colloques 38 (1977) C5-77-C5-88
DOI: 10.1051/jphyscol:1977509
RUGOSITÉ
THE PROBLEM OF SURFACE ROUGHNESS IN ELLIPSOMETRY AND REFLECTOMETRY
I. OHLÍDAL, F. LUKE and K. NAVRÁTIL Dept. of Solid State Physics, Faculty of Science, J. E. Purkyns University, 61137 Brno, Czechoslovakia
Résumé
Une classification des surfaces rugueuses a été effectuée. Trois modèles d'un système substrat-film avec des interfaces rugueuses ont été définis. On présente aussi une approche théorique pour trouver une solution aux équations ellipsométrique et de réflectance (composants cohérents et incohérents généralement à incidence non normale pour ces derniers). Les principaux résultats sont donnés sous forme mathématique. Ces résultats sont utilisés dans une discussion et une interprétation des résultats expérimentaux.
Abstract
The classifications of rough surfaces has been performed. Three models of a system substrate-thin film with randomly rough boundaries have been defined. Also is presented the theoretical approach to the solution of the problem to find the ellipsometric parameters and reflectance (both coherent and incoherent components, generally at non-normal incidence) and the main results are given in mathematical form. These results are used in a discussion concerning their application at interpretation of experimental results.