EXCITATION D'ONDES DE SURFACE DE FRÉQUENCE SUPÉRIEURE A 1000 MHz AVEC DES TRANSDUCTEURS RÉALISÉS PAR MASQUAGE ÉLECTRONIQUE

Résumé
Les transducteurs émetteur et récepteur d'ondes élastiques de surface sont, en général, constitués par un ensemble de traits métalliques déposé sur la surface d'un matériau piézoélectrique. La largeur d'un trait, proportionnelle à la longueur d'onde élastique, est de l'ordre de 0,9 µm pour des transducteurs fonctionnant à une fréquence de 1 000 MHz environ. Des traits aussi fins sont réalisés par la méthode de masquage électronique : un faisceau d'électrons modulé en intensité suivant le dessin du transducteur, balaye le substrat recouvert d'une résine électrosensible. Deux procédés d'introduction des informations décrivant le motif sont utilisés : - procédé analogique : le dessin d'un masque photographique à l'échelle 500 est reproduit à l'échelle 1 sur la cible, - procédé digital : les informations sont introduites sous forme de bande perforée dans un calculateur qui commande automatiquement les positions du substrat et du faisceau d'électrons. Les caractéristiques de lignes à retard dont les transducteurs sont de types différents, sont données et comparées.

Abstract
A surface wave transducer is composed of metallic fingers deposited on the surface of a piezoelectric substrate. The finger width is proportional to the elastic wavelength. Fingers of a conventional interdigital transducer are less than 1 µm wide at 1 000 MHz. These narrow fingers are obtained using an electron beam masking technique. Two machines are described : - a modified scanning electron microscope, - an automatic electron beam pattern generator. Two kinds of transducers have been tested : - conventional interdigital transducers, - grating array transducers. Performances of the two types of transducers are compared.