MODÉLISATION DE MICROPHONES SUB-MINIATURES

Résumé
La tendance générale à la miniaturisation et l'évolution des techniques de micro-usinage sont à l'origine de la réalisation de capteurs silicium électro-statiques ou électrets miniatures. Certaines dimensions intérieures de ces capteurs étant de l'ordre de l'épaisseur des couches limites, leur modélisation précise nécessite l'usage des équations de propagation en fluide viscothermique. Dans ce cadre, un calcul de réponse de membrane séparée d'une électrode par un film d'air très mince a été effectué et les modifications à apporter aux résultats disponibles jusqu'à présent, qui admettent l'hypothèse isotherme, sont présentées.

Abstract
The application of semiconductor fabrication techniques to the production of miniature électro-static and electret sensors has necessitated the theoretical modelling of mechanical behaviour at very small scale. Since the internal dimensions of such silicon transducers are comparable with that of the boundary layer we have produced an improved theory to describe the transducer behaviour which uses the equations of propagation for visco-thermal fluids. Using this theory, which does not assume the processes to be isothermal, we have calcultated the acoustic response of a stretched membrane separated from a rigid electrode by a very thin air film, and we show a comparison of our results with those available in the literature.