PROTECTIVE CVD COATINGS FOR THE TOOL INDUSTRY : REQUIREMENTS FOR PROCESS CONTROL AND EQUIPMENT

Résumé
Les plus importants critères de construction d'un équipement de déposition par CVD sont descrits. La fiabilité et reproductibilité des dépôts sont avant tout garanties par un choix judicieux des composants, et par une construction qui facilite l'utilisation et les travaux de maintenance. D'autre part, la souplesse d'utilisation qui permet une production de masse ainsi que des travaux de développement sophistiqués, est assurée par un contrôle informatique qui donne à l'utilisateur tous les degrés de liberté pour concevoir des cycles de traitement en respectant les conditions nécessaires pour la protection des hommes, de l'équipement et de la charge.

Abstract
The most important design principles of a modern CVD coating equipment are described. Viability and reproducibility of the deposited layers are mainly given by a careful choice of high quality components, as well as by a design which allows for easy service and maintenance done within regular time intervals. A high versatility which allows to perform routine mass production as well as sophisticated development work is assured by a programmable computer control which gives the user the required freedom to design his process cycles without restrictions except for those required by safety aspects for people, equipment and load.