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J. Phys. Colloques
Volume 50, Number C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
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| Page(s) | C5-695 - C5-705 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989582 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-695-C5-705
DOI: 10.1051/jphyscol:1989582
THIN FILM OF CERAMIC OXIDES BY MODIFIED CVD
J.L. DESCHANVRES, F. CELLIER, G. DELABOUGLISE, M. LABEAU, M. LANGLET et J.C. JOUBERTInstitut National Polytechnique de Grenoble, Ecole Nationale Supérieure de Physique de Grenoble, LMGP CNRS UA-1109, Domaine Universitaire, BP. 46, F-38402 St Martin d'Hères, France
Résumé
Nous décrivons un procédé de dépôt utilisant la pyrolyse d'un aérosol généré par ultrasons (procédé Pyrosol). La réaction chimique sur le substrat chauffé est de type CVD. Nous avons étudié les conditions expérimentales de dépôt de zircone stabilisée à l'oxyde d'Yttrium, en vue de la réalisation de microcapteurs de gaz. Nous obtenons directement la phase cubique de la zircone stabilisée. Comme application en tant que média pour l'enregistrement magnéto-optique nous avons obtenu des couches de Y3Fe5O12 non orientées pour des dépôts sur quartz et des couches épitaxiées pour des dépôts sur des substrats monocristallins de GGG.
Abstract
We describe a deposition process which uses the pyrolysis of an aerosol produced by ultrasonic spraying (Pyrosol process). The chemical reaction on the heated substrate corresponds to CVD. Experimental deposition conditions of yttria stabilized zirconia have been studied with the aim of realizing microionic gas sensors. We obtain directly the stabilized cubic phase. For magneto-optical information storage or magneto-optical display devices we have deposited Y3Fe5O12 garnet thin films. Good quality thin layers were obtained, not textured on quartz substrates and epitaxialy grown on GGG substrates.