SIMULATION DU TRANSFERT DE CHALEUR ET DE QUANTITÉ DE MOUVEMENT DANS UN REACTEUR DE VAPODÉPOSITION

Résumé
Les processus de transfert de chaleur et de quantité de mouvement sont étudiés dans un réacteur de vapodéposition à axe vertical à paroi froide. La résolution des équations de l'hydrodynamique et de la thermique en formulation elliptique (ψ, ω, θ) conduit à une description fine des distributions de température et de vitesse à l'intérieur du réacteur sous balayage d'un gaz neutre. Les résultats des calculs montrent la présence de forts gradients localisés autour du substrat, ainsi qu'un phénomène de recirculation pour les faibles débits gazeux. L'influence des divers paramètres a été également examinée. Le cas d'un réacteur à axe vertical et à paroi chaude a été abordé.

Abstract
Heat transfer and quantity of movement processus were studied within a cold wall vertical C.V.D. reactor. The resolution of hydrodynamic and thermic equations with elleptic formulation (ψ, ω, θ) lead to an accurate description of temperatures and velocities within the reactor under inert gas flow. The results show high gradients around the substrate and a recycling flow for low rates. The influence of several parameters and the case of a hot wall reactor were also presented.