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J. Phys. Colloques
Volume 47, Number C2, Mars 1986
32 nd International Field Emission Symposium / 32ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C2-415 - C2-424 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986264 | |
J. Phys. Colloques 47 (1986) C2-415-C2-424
DOI: 10.1051/jphyscol:1986264
EFFECT OF FIELD-EVAPORATION RATE ON QUANTITATIVE ATOM-PROBE ANALYSIS
A. WAGNER1 et D.N. SEIDMAN21 IBM Watson Research Laboratory, Yorktown Heights, New York, USA
2 Cornell University, Department of Materials Science and Engineering and the Materials Science Center, Ithaca, NY 14853, U.S.A.
Résumé
Les effets de la vitesse d'évaporation de champ sur l'analyse chimique quantitative des matériaux à l'aide d'un microscope à émission d'ion avec sonde atomique sont examinés. Des exemples de grandes valeurs erronées de la concentration de Ti dans les alliages Mo-1 %at. Ti et Mo-1 %at. Ti-0.08 %at. Zr (TZM) sont présentés et nous montrons que la cause est due à une grande vitesse d'évaporation de champ. Les arguments de base utilisés pour expliquer ces observations peuvent être appliqués pour la quantitation de tous les systèmes d'alliages étudies à l'aide de la technique du microscope à émissions d'ion avec sonde atomique.
Abstract
The effects of field-evaporation rate on the quantitative chemical analysis of materials by atom-probe field-ion microscopy are considered. Examples of erroneously high measured values of the Ti concentration in Mo-1.0 at.% Ti and Mo-1.0 at.% Ti-0.08 at.W Zr (TZM) alloys are presented and the cause is shown to have been due to a high field-evaporation rate. The basic arguments used to explain these observations are applicable for the quantitation of all alloy systems studied by the atom-probe field-ion microscope technique.