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J. Phys. Colloques
Volume 45, Number C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-319 - C2-322 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984272 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-319-C2-322
DOI: 10.1051/jphyscol:1984272
Laboratoire de Microanalyse des Surfaces, E.N.S.M.M., 25030 Besançon Cedex, France
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-319-C2-322
DOI: 10.1051/jphyscol:1984272
THE EFFECTS OF SURFACE ROUGHNESS ON AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY
D. Wehbi et C. Roques-CarmesLaboratoire de Microanalyse des Surfaces, E.N.S.M.M., 25030 Besançon Cedex, France
Résumé
Des analyses superficielles par spectrométrie Auger (AES, SAEM) montrent que la topographie de surface influence de manière conséquente le signal détecté. Nous présentons le descriptif de logiciels permettant de mieux appréhender le rôle des irrégularités de surface.
Abstract
The contribution of surface asperities to AES emission yields is discussed in terms of topography analysis. The methods allowing the distribution of heights, slopes, curvatures and other angular functions to be determined are presented here.