Issue
J. Phys. Colloques
Volume 45, Number C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
Page(s) C2-125 - C2-128
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984228
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis

J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-125-C2-128

DOI: 10.1051/jphyscol:1984228

MÉTHODE D'ANALYSE FONDÉE SUR L'IONISATION PAR ÉLECTRONS DES PRODUITS DE PULVÉRISATION THERMALISÉS

G. Blaise, R. Castaing et R. Quettier

Laboratoire de Physique des Solides, Bât. 510, Université Paris-Sud, 91405 Orsay, France


Résumé
Les performances de la méthode d'analyse par thermo-ionisation des produits de pulvérisation sont améliorées par l'adjonction d'un dispositif d'ionisation par électrons (filament) placé à l'intérieur de la cellule chaude. Le fonctionnement de ce dispositif est décrit et ses caractéristiques analytiques sont présentées et discutées.


Abstract
The analytical method based upon the thermal ionization of the sputtered material is improved by setting an electron ionization device (filament) in the hot cell. The principle of the device and its analytical capabilities are presented and discussed.