SMALL AREA MOLECULAR ANALYSIS AS APPLIED IN THE MICROELECTRONICS INDUSTRY

Résumé
Les techniques de microanalyse élémentaire ont été appliquées avec succès comme aide au développement et à la fabrication de la microélectronique depuis 24 ans. Les analyses moléculaires seraient bien plus utiles, si elles pouvaient avoir une résolution spatiale comparable à la dimension d'un composant élémentaire. Plusieurs de ces techniques, telles que la spectroscopie infrarouge ou Raman, la microscopie à lumière polarisée et la spectroscopie de masse/laser seront discutées et leur utilité illustrée dans le cas de contaminations organiques, occasionnées par le contact avec la peau. Le Leybold-Heraeus LAMMA 1000, lorsque la puissance du laser sur l'échantillon est gardée très faible et reproductible, donne des spectres fragmentés aussi reconnaissables que ceux de la spectroscopie électronique de masse, dont les résultats sont largement publiés dans la littérature.

Abstract
Small area elemental analysis techniques have been successfully applied to the solution of microelectronics development and manufacture for 24 years. Molecular analysis would be far more useful if it could be done in device sized areas. Several such techniques, infrared, Raman, polarized light microscopy and laser/mass spectroscopy will be discussed and their usefulness illustrated for organic contamination, including skin. The Leybold-Heraeus LAMMA 1000, when the laser power to the specimen is kept very low and reproducible, gives fragmentation spectra which are recognizable as those by electron impact mass spectroscopy, on which most/all library searches are based.