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J. Phys. Colloques
Volume 45, Number C1, Janvier 1984
8th International Conference on Magnet Technology
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| Page(s) | C1-671 - C1-674 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19841136 | |
J. Phys. Colloques 45 (1984) C1-671-C1-674
DOI: 10.1051/jphyscol:19841136
KPY 12 - A PRESSURE TRANSDUCER SUITABLE FOR LOW TEMPERATURE USE
F. Breimesser, L. Intichar, M. Poppinger et C. SchnapperSiemens AG, Research Laboratories, Paul Gossen Str. 100, D-8520 Erlangen, F.R.G.
Résumé
Le capteur de pression KPY 12 commercialisé par Siemens permet de mesurer des différences de pression jusqu'à 2 bars dans la plage de température de 243 K à 298 K. A des températures très basses atteignant 4 K, la linéarité est conservée et la sensibilité s'accroît de 100 % environ. Le capteur a été utilisé avec succès à basse température dans une installation d'essai fonctionnant à 3000 tr/min.
Abstract
The commercially available Siemens pressure sensor KPY 12 in silicon planar technology measures differential pressures up to 2 bar in the temperature range from 243 K to 398 K. However, at temperatures down to 4 K the specified linearity is also preserved, and the sensitivity increases by about 100 %. The sensor has been successfully employed at low temperatures in a test rig rotating at 3000 rpm.