Supplément au Journal de Physique Colloques

ANALYSE DU TRANSFERT DE MATIÈRE ENTRE UN PLASMA RÉACTIF ET LE SILICIUM - ÉTUDE EXPÉRIMENTALE ET MODÉLISATION

D. MORVAN, P. HUMBERT, N. MADIGOU, J. AMOUROUX and S. CAVVADIAS

J. Phys. Colloques, 51 C5 (1990) C5-253-C5-261

DOI: 10.1051/jphyscol:1990531

D. MORVAN

P. HUMBERT

N. MADIGOU

J. AMOUROUX

S. CAVVADIAS

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