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UV PHOTON ASSISTED CVD OF SiO₂ FOR LOW-DRIFT InP MISFET'S

P. DIMITRIOU, G. POST et A. SCAVENNEC

J. Phys. Colloques, 50 C5 (1989) C5-675-C5-679

DOI: 10.1051/jphyscol:1989579

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