Supplément au Journal de Physique Colloques

MICROSTRUCTURE OF Si₃N₄ FILMS DEPOSITED ON VARIOUS SUBSTRATES BY CVD

F. ANXIONNAZ, M. PARLIER, A. RIVIERE et M. LANCIN

J. Phys. Colloques, 47 C1 (1986) C1-303-C1-308

DOI: 10.1051/jphyscol:1986144

F. ANXIONNAZ

M. PARLIER

A. RIVIERE

M. LANCIN

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