Supplément au Journal de Physique Colloques

ELABORATION DE COUCHES EPITAXIEES DE SILICIUM PAR PULVERISATION IONIQUE

C. Schwebel, F. Meyer et G. Gautherin

J. Phys. Colloques, 43 C5 (1982) C5-473-C5-479

DOI: 10.1051/jphyscol:1982557

C. Schwebel

F. Meyer

G. Gautherin

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