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ÉTUDE PAR MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE EN TRANSMISSION DE DÉFAUTS CRÉÉS PAR IMPLANTATION IONIQUE DANS DU SILICIUM < III >

R . TRUCHE, M. DUPUY and D. LAFEUILLE

J. Phys. Colloques, 34 C5 (1973) C5-93-C5-98

DOI: 10.1051/jphyscol:1973518

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