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NON-DESTRUCTIVE CHARACTERISATION OF DEVICE PROCESSING OF SILICON-ON-SAPPHIRE (SOS) WAFERS

C. PICKERING, S. SHARMA, S. COLLINS, A. G. MORPETH, G. R. TERRY et A. M. HODGE

J. Phys. Colloques, 49 C4 (1988) C4-55-C4-58

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1988410

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