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J. Phys. Colloques
Volume 51, Numéro C5, Septembre 1990
European Congress on Thermal Plasma Processes and Materials Behaviour at High Temperature
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| Page(s) | C5-313 - C5-319 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1990538 | |
J. Phys. Colloques 51 (1990) C5-313-C5-319
DOI: 10.1051/jphyscol:1990538
SPECTROSCOPY OF Ar-N2 MICROWAVE FLOWING POST-DISCHARGES
H. MALVOS1, A. RICARD1, M. MOISAN2 et J. HUBERT31 Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas, Bât 212 Université Paris-Sud, CNRS, 91405 Orsay, France
2 Département de Physique, Université de Montréal, BP 620, Montréal H3C 3V1, Canada
3 Département de Chimie, Université de Montréal, BP 620, Montréal H3C 3V1, Canada
Résumé
La post-luminescence des décharges HF (13.6, 49.5 et 2450MHz) dans les mélanges Ar-N2 à 100 Torr a été étudiée par spectroscopie d'émission. Les processus de recombinaison N + N + M2 et N + C + M2 (M2 = Ar-N2) ont été caractérisés. La densité des atomes de carbone dans la post-décharge a été déduite de la mesure des atomes d'azote par titration avec NO. Des rapports de densités C/M2 aussi bas que 10-7 - 10-8 ont été trouvés dans des post-décharges à 100-200 Torr, avec des pourcentages élevés (33-100%) de N2 dans Ar.
Abstract
The flowing afterglow of 100 Torr Ar-N2 HF (13.6, 49.6 and 2450MHz) discharges has been studied by emission spectroscopy. The N + N + M2 and N + C + M2(M2=Ar-N2) recombination processes have been characterized. From N density measurements by NO titration, it has been deduced the C density in the post-discharges. C/M2 density ratios as low as 10-7 - 10-8 have been found in 100-200 Torr post-discharges with high percentages (33-100%) of N2 in Ar.