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J. Phys. Colloques
Volume 50, Numéro C5, Mai 1989
Actes de la 7ème Conférence Européenne sur les Dépôts Chimiques en Phase Gazeuse / Proceedings of the Seventh European Conference on Chemical Vapour Deposition
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| Page(s) | C5-455 - C5-464 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989557 | |
J. Phys. Colloques 50 (1989) C5-455-C5-464
DOI: 10.1051/jphyscol:1989557
ÉTUDE, PAR LA MÉTHODE DES RADIOTRACEURS, DE LA DIFFUSION DU FER DANS LE SILICIURE DE FER Fe3Si OBTENU PAR CVD
S. AUDISIO1 et P. GUIRALDENQ21 Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, France
2 Ecole Centrale de Lyon, France
Résumé
Après obtention par CVD d'un revêtement de 50 à 80 µm de siliciure de fer Fe3Si sur substrat de fer, les coefficients d'autodiffusion du fer dans le siliciure ont été déterminés par la méthode des radiotraceurs de KRIVKOV et JHOUKHOVITSKY. Ces coefficients, 3.3 10-12 cm2/s à 815 °C et 1.6 10-11 cm2/s à 935 °C sont légèrement inférieurs à ceux de l'autodiffusion du fer α. Cette différence est attribuée aux liaisons entre les atomes dans le siliciure Fe3Si.
Abstract
After obtaining by CVD an iron silicide coating (50 to 80 µm thick), the diffusion coefffcients of iron in the silicide (Fe3Si) are determined by the KRIVKOV and JHOUKHOVITSKY radioactive tracers method. These coefficients 3.3 10-12 cm2/s at 815 °C and 1.6 10-11 cm2/s at 935 °C are slightly smaller than these of the self diffusion of α-iron. This difference is attributed to the iron atom bonding in the silicide Fe3Si structure.