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J. Phys. Colloques
Volume 47, Numéro C7, Novembre 1986
33rd International Field Emission Symposium / 33ème Symposium International d'Emission de Champ
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| Page(s) | C7-483 - C7-488 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1986781 | |
33rd International Field Emission Symposium / 33ème Symposium International d'Emission de Champ
J. Phys. Colloques 47 (1986) C7-483-C7-488
DOI: 10.1051/jphyscol:1986781
Department of Physics, Chalmers University of Technology, S-412 96 Göteborg, Sweden
J. Phys. Colloques 47 (1986) C7-483-C7-488
DOI: 10.1051/jphyscol:1986781
PERFORMANCE OF AN ENERGY COMPENSATOR WITH A LARGE ACCEPTANCE ANGLE
H.O. ANDRENDepartment of Physics, Chalmers University of Technology, S-412 96 Göteborg, Sweden
Résumé
Un compensateur en énergie de type Poschenrieder pour une sonde à atomes est décrit. L'angle d'acceptance du compensateur est grand, 0.1 radians. La résolution en masse a été déterminée pour des angles d'entrance et des défauts d'énergie ionique différents, et est comparée à la résolution en masse calculée des erreurs de focalisation du compensateur.
Abstract
An energy compensator of the Poschenrieder type for an atom probe field ion microscope is described. The compensator has a large acceptance angle, 0.1 radians. The mass resolution has been measured for different ion entrance angles and energy deficits, and is compared to the mass resolution calculated from the focusing errors of the compensator.