THE EFFECTS OF X-RAY-INDUCED AUGER ELECTRONS IN AUGER MICROANALYSIS

Résumé
L'intensité des électrons Auger induits par les rayons X créés dans l'échantillon massif peut contribuer de façon non négligeable à l'intensité des électrons Auger induits directement par les électrons primaires et les électrons rétrodiffusés. Nous établissons pour la première fois les expressions des intensités relatives aux électrons Auger induits par les rayons X caractéristiques et par la radiation continue. Nous montrons que ces contributions peuvent atteindre, dans certains cas et à tension primaire élevée, plusieurs dizaines de %. L'influence qu'ont ces contributions sur la détérioration de la résolution spatiale en SAM est indiquée. Certaines applications utiles sont enfin indiquées.

Abstract
The intensity of the Auger electrons induced by characteristic or continuous X-rays created in a bulk sample by an energetic incident electron beam contributes significantly to the Auger electron intensity created by primary incident and backscattered electrons.Analytica1 expressions have been established for the first time giving the intensities of characteristic and continuous X-ray-induced Auger electrons relative to electron-induced Auger electrons. For high energies of incident electrons these contributions may attain several tens of percent.Their influence on the spatial resolution in SAM (Scanning Auger Microscopy) is illustrated and some useful applications are indicated.