| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-895 - C2-898 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:19842205 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-895-C2-898
DOI: 10.1051/jphyscol:19842205
Tracor Northern Inc., 2551 West Beltline Highway, Middleton, WI 53562, U.S.A.
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-895-C2-898
DOI: 10.1051/jphyscol:19842205
AUTOMATED MEASUREMENTS OF INTEGRATED CIRCUIT LINEWIDTHS BY ELECTRON MICROSCOPY
G.S. Fritz, J.J. McCarthy et J. BensonTracor Northern Inc., 2551 West Beltline Highway, Middleton, WI 53562, U.S.A.
Résumé
Ce papier décrit un système d'automatisation pour la mesure des largeurs des rubans des circuits intégrés à l'aide d'un microscope électronique à balayage.
Abstract
This paper describes a system which automates integrated circuit linewidths measurements in an electron microscope.