| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C6, Octobre 1983
Spectroscopie Photoacoustique et Photothermique / Photoacoustic and Photothermal Spectroscopy
|
|
|---|---|---|
| Page(s) | C6-437 - C6-452 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983671 | |
Spectroscopie Photoacoustique et Photothermique / Photoacoustic and Photothermal Spectroscopy
J. Phys. Colloques 44 (1983) C6-437-C6-452
DOI: 10.1051/jphyscol:1983671
Therma-Wave, Inc., Fremont, CA 94539, U.S.A.
J. Phys. Colloques 44 (1983) C6-437-C6-452
DOI: 10.1051/jphyscol:1983671
APPLICATIONS OF THERMAL-WAVE PHYSICS TO SEMICONDUCTOR MATERIALS ANALYSIS
A. RosencwaigTherma-Wave, Inc., Fremont, CA 94539, U.S.A.
Résumé
On décrit les applications des ondes thermiques à l'imagerie et aux mesures quantitatives d'épaisseur de films minces par des matériaux semiconducteurs et des composants.
Abstract
Nonspectroscopic applications of thermal-wave physics, in particular those involving materials analysis through thermal-wave imaging, and quantitative thin-film thickness measurements, are described for the study of semiconductor materials and devices.