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J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
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| Page(s) | C5-261 - C5-265 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983541 | |
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-261-C5-265
DOI: 10.1051/jphyscol:1983541
C.N.R.S., Laboratoire de Physique des Solides, 1, Place A. Briand, 92190 Meudon, France
J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-261-C5-265
DOI: 10.1051/jphyscol:1983541
INCORPORATION DU PHOSPHORE DANS CdTe PAR RECUIT LASER
C. Uzan, R. Legros et Y. MarfaingC.N.R.S., Laboratoire de Physique des Solides, 1, Place A. Briand, 92190 Meudon, France
Résumé
La méthode du recuit laser a été utilisée pour incorporer du phosphore dans CdTe à partir d'une couche de Cd3P2 déposée en surface. La caractérisation par photoluminescence et mesure de profil à l'analyseur ionique montre le caractère actif du phosphore introduit et permet d'évaluer à 1018cm-3 la concentration atteinte à 1 µm de profondeur.
Abstract
Laser annealing experiments have been performed in order to incorporate phosphorus into CdTe from a Cd3P2 surface deposited layer. Characterization by photoluminescence and SIMS profiling shows that at least a part of the introduced phosphorus is in an active form and gives a determination of the concentration obtained at 1 µm depth : 1018cm-3.