| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 39, Numéro C4, Juillet 1978
Vth International Conference on Vacuum UltravioletRadiation Physics |
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|---|---|---|
| Page(s) | C4-205 - C4-211 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1978424 | |
Vth International Conference on Vacuum Ultraviolet
Radiation Physics
J. Phys. Colloques 39 (1978) C4-205-C4-211
DOI: 10.1051/jphyscol:1978424
IBM T.J. Watson Research Center. Yorktown Heights, New York 10598, U.S.A.
Radiation Physics
J. Phys. Colloques 39 (1978) C4-205-C4-211
DOI: 10.1051/jphyscol:1978424
SOFT X-RAYS FOR BIOLOGICAL AND INDUSTRIAL PATTERN REPLICATIONS
E. SPILLER, R. FEDER et J. TOPALLANIBM T.J. Watson Research Center. Yorktown Heights, New York 10598, U.S.A.
Résumé
L'utilisation de rayons-X de faible énergie pour la fabrication de microcircuits et pour la microscopie des spécimens biologiques est passée en revue. On a obtenu une résolution qui approche les limites imposées par la diffraction. Les améliorations récentes suggèrent la possibilité de produire des éléments focalisants de haute résolution.
Abstract
The use of soft X-rays for the fabrication of microcircuits and for the microscopy of biological objects is reviewed. A resolution close to the X-ray diffraction limit has been obtained. Recent advances suggest that high resolution focusing elements might also be developed.