| Numéro |
J. Phys. Colloques
Volume 45, Numéro C2, Février 1984
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse 10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis |
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| Page(s) | C2-93 - C2-96 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1984223 | |
10ème Congrès International d'Optique des Rayons X et de Microanalyse
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-93-C2-96
DOI: 10.1051/jphyscol:1984223
1 Physics Department, Queen Elizabeth College, University of London, Campden Hill Road, London W8 7AH, U.K.
2 Daresbury Laboratory, Daresbury, Warrington, WA4 4AD, U.K.
10th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
J. Phys. Colloques 45 (1984) C2-93-C2-96
DOI: 10.1051/jphyscol:1984223
THE EFFECTS OF MANUFACTURING INACCURACIES ON THE IMAGING PROPERTIES OF ZONE PLATES
M.J. Simpson1, M.T. Browne1, R.E. Burge1, P. Charalambous1, P.J. Duke2 et A.G. Michette11 Physics Department, Queen Elizabeth College, University of London, Campden Hill Road, London W8 7AH, U.K.
2 Daresbury Laboratory, Daresbury, Warrington, WA4 4AD, U.K.
Résumé
Tous les procédés utilisés pour réaliser des lentilles à zone de Fresnel pour rayons X mous présentent des imperfections de fabrication qui affectent les images. On discute les erreurs possibles en microlithographie par microscopie électronique à balayage en transmission et on en conclut que ce procédé peut être utilisé en donnant une précision suffisante.
Abstract
Any process for making soft X-ray zone plates will have associated manufacturing errors which will affect the imaging properties. The errors possible in a lithographic manufacturing technique using a scanning transmission electron microscope are discussed, and it is concluded that sufficiently accurate zone plates may readily be made.