THERMODYNAMIC STUDIES OF HIGH TEMPERATURE EQUILIBRIA OF THE Si - N, Si - C - H AND Si - O - C - H SYSTEMS

Ž.G. KOSTIj; P. PAVLOVIj; P. STEFANOVIj

doi:doi:10.1051/jphyscol:1990502

Numéro		J. Phys. Colloques Volume 51, Numéro C5, Septembre 1990 European Congress on Thermal Plasma Processes and Materials Behaviour at High Temperature


Page(s)		C5-11 - C5-17
DOI		https://doi.org/10.1051/jphyscol:1990502

European Congress on Thermal Plasma Processes and Materials Behaviour at High Temperature

J. Phys. Colloques 51 (1990) C5-11-C5-17
DOI: 10.1051/jphyscol:1990502

THERMODYNAMIC STUDIES OF HIGH TEMPERATURE EQUILIBRIA OF THE Si - N, Si - C - H AND Si - O - C - H SYSTEMS

Z.G. KOSTIj, P. PAVLOVIj et P. STEFANOVIj

Boris Kidric Institute of Nuclear Sciences for Thermal Engineering and Energy Research, 11001 Beograd, P.O. Box 522, Yugoslavia

Résumé
Des résultats de la modélisation de l'équilibre thermodynamique de différents systèmes sont présentés pour les applications suivantes (1) : Synthèse de Si₃N⁴ à partir de Si dans un plasma d'azote (système Si-N), (2) : Synthèse de Sic à partir de poudre de Si dans un plasma de butane et propane contenant de l'hydrogène (système Si-C-H), (3) : Synthèse de SiC à partir de poudre de silice (SiO₂) dans un plasma de butane et propane contenant du graphite (système Si-O-C-H). L'algorithme est basé sur la loi d'action de masse.

Abstract
A model of system thermodynamic equilibrium and the obtained results in the temperature interval of 1000 [K] to 6000 [K] at p = const = 1 [bar] are presented for: 1) the Si-N system for Si₃N₄ synthesis from Si - powder in a nitrogen thermal arc plasma. 2) the Si-C-H system for SiC synthesis from Si-powder in a propane-butane thermal arc plasma (with added hydrogen) and 3) the Si-O-C-H system for SiC synthesis from SiO₂-powder in a propane-butane thermal arc plasma (with added C-powder). The developed algorithm is based on the mass action law.