Electric discharge pumping of excimer lasers

Résumé
Nous avons examiné le rendement et l'agrandissement à l'échelle des lasers à excimer (excités par de faisceau permet d'obtenir de haute énergie spécifique dans de grandes structures avec des courants de faisceau maintenue par faisceau électronique semble le plus prometteur pour l'obtention de grandes énergies. Les performances de ce type de laser peuvent être prédites grâce à un modèle englobant l'analyse de la cinétique des électrons, de la chimie de la décharge et le résonateur optique. Les limitations introduites par les problèmes de stabilité de décharge sont minimisées grâce à l'emploi d'un faisceau électronique uniforme. Cette bonne uniformité de faisceau permet d'obtenir de haute énergie spécifique dans de grandes structures avec des courants de faisceau électronique modérés.

Abstract
The efficiency and scalability of excimer lasers pumped by electric discharge is examined using the KrF laser as a generic example. E-beam sustained discharges show the greatest promise for scaling to high energy. Analyses of electron kinetics, discharge chemistry, and optical resonator are incorporated into a model for predicting the performance of such lasers. Limitations imposed by discharge stability are minimized by ensuring uniform e-beam deposition. With good uniformity, high specific energy can be achieved in large devices using low beam currents.