Supplément au Journal de Physique Colloques

EVIDENCE OF STRUCTURAL MODIFICATION OF IMPLANTED SILICON DURING FURNACE ANNEALING

Ph. Ged et M.H. Debroux

J. Phys. Colloques, 44 C10 (1983) C10-267-C10-271

DOI: 10.1051/jphyscol:19831056

Ph. Ged

M.H. Debroux

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