Supplément au Journal de Physique Colloques

FILTER STRUCTURE FOR SUB-MICRON FILTRATION FABRICATED IN SILICON

G. KITTILSLAND et G. STEMME

J. Phys. Colloques, 49 C4 (1988) C4-641-C4-644

DOI: 10.1051/jphyscol:19884134

G. KITTILSLAND

G. STEMME

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