CALCULS NUMÉRIQUES DE PROFILS D'IMPURETÉ ET D'ÉNERGIE DÉPOSÉE PAR IMPLANTATION D'IONS DE MOYENNE ÉNERGIE, COMPARAISON AVEC L'EXPÉRIENCE
J. Phys. Colloques, 34 C5 (1973) C5-29-C5-34
DOI: 10.1051/jphyscol:1973507