PACVD OF "DIAMOND-LIKE" CARBON FILMS IN MICROWAVE MULTIPOLAR PLASMAS
J. Phys. Colloques, 50 C5 (1989) C5-665
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Citations de cet article :
Anisotropic etching of polymers in SO2/O2plasmas: Hypotheses on surface mechanisms
Michel Pons, Jacques Pelletier and Olivier JoubertJournal of Applied Physics 75 (9) 4709 (1994)
https://doi.org/10.1063/1.355924
Preparation of copper thin films at ambient temperature by microwave plasma‐enhanced chemical vapor deposition from the copper (II) acetylacetonate‐argon‐hydrogen system
J. Pelletier, R. Pantel, J. C. Oberlin, Y. Pauleau and P. Gouy‐PaillerJournal of Applied Physics 70 (7) 3862 (1991)
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