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Citations de cet article :

On the mechanism of the LMIS emission

V.E. Ptitsin and S.I. Shevchenko
Surface Science 266 (1-3) 191 (1992)
DOI: 10.1016/0039-6028(92)91020-C
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Handbook of Vlsi Microlithography

John Melngailis
Handbook of Vlsi Microlithography 554 (1991)
DOI: 10.1016/B978-0-8155-1281-3.50013-0
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