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Article cité :

FOCUSED ION BEAMS IN MICROFABRICATION

P.D. PREWETT

J. Phys. Colloques, 50 C8 (1989) C8-179-C8-190

DOI: https://doi.org/10.1051/jphyscol:1989832

PDF (2.058 MB)

Citations de cet article :

Investigations on Sb-emitting alloy liquid metal ion sources

F. Machalett and R. Mühle
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 71 (4) 479 (1992)
https://doi.org/10.1016/0168-583X(92)95368-2

Miniaturized liquid metal ion sources (MILMIS)

J. Mitterauer
IEEE Transactions on Plasma Science 19 (5) 790 (1991)
https://doi.org/10.1109/27.108416