Si-H VIBRATIONAL PROPERTIES IN CRYSTALLIZED HYDROGENATED SILICON FABRICATED BY REACTIVE SPUTTERING IN H2 ATMOSPHERE
J. Phys. Colloques, 42 C4 (1981) C4-277-C4-280
Article cité par
La fonctionnalité Article cité par… liste les citations d'un article. Ces citations proviennent de la base de données des articles de EDP Sciences, ainsi que des bases de données d'autres éditeurs participant au programme CrossRef Cited-by Linking Program. Vous pouvez définir une alerte courriel pour être prévenu de la parution d'un nouvel article citant " cet article (voir sur la page du résumé de l'article le menu à droite).
Article cité :
Citations de cet article :
Investigation of the amorphous‐to‐microcrystalline transition of hydrogenated silicon films by spectroscopic ellipsometry
T. V. Herak, J. J. Schellenberg, P. K. Shufflebotham and K. C. KaoJournal of Applied Physics 64 (2) 688 (1988)
https://doi.org/10.1063/1.341962
In situ spectroscopic ellipsometry study of the growth of microcrystalline silicon
Satyendra Kumar, B. Drevillon and C. GodetJournal of Applied Physics 60 (4) 1542 (1986)
https://doi.org/10.1063/1.337289
Dependence of properties of hydrogenated microcrystalline and amorphous silicon films prepared by planar magnetron sputtering in inert gas
N. Saito, H. Sannomiya, T. Yamaguchi and N. TanakaApplied Physics A Solids and Surfaces 35 (4) 241 (1984)
https://doi.org/10.1007/BF00617174
Reactive sputtering of amorphous silicon in Ne, Ar, and Kr
R. C. Ross and R. MessierJournal of Applied Physics 54 (10) 5744 (1983)
https://doi.org/10.1063/1.331797