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J. Phys. Colloques
Volume 49, Numéro C5, Octobre 1988
Interface Science and Engineering '87An International Conference on the Structure and Properties of Internal Interfaces |
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Page(s) | C5-647 - C5-652 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphyscol:1988583 |
An International Conference on the Structure and Properties of Internal Interfaces
J. Phys. Colloques 49 (1988) C5-647-C5-652
DOI: 10.1051/jphyscol:1988583
GRAIN BOUNDARY ELECTRICAL ACTIVITY OF n-TYPE GERMANIUM
N. TABET et C. MONTYCNRS, Laboratoire de Physique des Matériaux, Bellevue, F-92195 Meudon Cedex, France
Résumé
L'observation en mode EBIC du Microscope Electronique à Balayage a été utilisée pour caractériser l'activité électronique des joints de grains dans des échantillons de germanium (type n, dopés au phosphore ou à l'antimoine). Les joints de grains ont été également caractérisés d'un point de vue structural en utilisant les diagrammes de canalisation d'électrons (ECP) et la topographie en réflexion des rayons X. Les joints de faible désorientation présentent un contrast EBIC qui croit quand la tension d'accélération des électrons primaires augmente. Les résultats ont été analysés en utilisant les modèles existants ; ceux-ci ne permettent pas une description correcte des observations expérimentales car ils négligent la contribution de la zone déserte au contrast.
Abstract
The electron beam induced current mode (EBIC) of the Scanning Electron Microscope has been used to characterize the electrical activity of grain boundaries in germanium samples (n-type, doped with P or Sb). The boundaries have also been characterized from a structural point of view using Electron Channeling Patterns and X-ray topography. Low angle boundaries show an EBIC contrast which increases when the primary electron beam accelerating voltage increases. The results have been analyzed using existing models ; they are not able to well describe the observed behaviour as they neglect the depletion zone contribution to the contrast.