Numéro
J. Phys. Colloques
Volume 44, Numéro C5, Octobre 1983
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials
Page(s) C5-461 - C5-465
DOI https://doi.org/10.1051/jphyscol:1983568
Interactions Laser-Solides, Recuits par Faisceaux d'Energie / Laser-Solid Interactions and Transient Thermal Processing of Materials

J. Phys. Colloques 44 (1983) C5-461-C5-465

DOI: 10.1051/jphyscol:1983568

SELFALIGNED METALLIC CONTACTS ON GaP : N-LEDs PROCESSED BY LASER PULSE IRRADIATION-INDUCED ABLATION

E.E. Krimmel1, A.G.K. Lutsch1, 2, L. Hoffman1 et C. Weyrich1

1  Forschunglaboratorien der Siemens AG, München, F.R.G.
2  Rand Afrikaans University, Johannesburg, RSA


Résumé
Les contacts arrières de diodes électroluminescentes en GaP:N sont autoalignés par rapport aux contacts frontaux à l'aide d'un procès d'ablation. Ceci est obtenu par l'irradiation avec une seule impulsion de laser ruby. Les contacts frontaux qui servent de masques ne sont pas endommagés par la lumière intense du laser qui doit traverser la surface frontale pour atteindre l'interface arrière entre la Gap et la couche métallique en or. Les parties de la surface du Gap où la couche d'or est soufflée en raison de la haute tension de vapeur du phosphore montrent une surface très irrégulière par suite d'une concentration statistique de la lumière réflectée à l'interface rugueuse Gap-Au. Quelques propriétés du processus d'ablation sont décrites à l'aide d'un modèle assez simple.


Abstract
Rear Au-contacts of GaP:N-LEDs are selfaligned structured as to the front contacts by a single ruby laser pulse irradiation-induced ablation process. The front contacts acting as masks are not damaged by the intensive laser light which must pass the front surface in order to reach the rear Gap/Au-interface. The areas of the Gap-surface where the Au-contact layer is removed exhibit a very irregular shape, caused by excess evaporation of Gap due to focusing reflections of the laser light at the GaP/Au- contact interface, and therefore reduced optical cross-talk. Some of the features of the ablation process are explained by a simple theoretical model.