Supplément au Journal de Physique Colloques

DÉFAUTS INDUITS DANS Si PAR IMPLANTATION DIRECTE OU A TRAVERS UNE COUCHE DE SiO₂

B. Balland, B. Remaki, P. Pinard and E. Mercier

J. Phys. Colloques, 44 C5 (1983) C5-319-C5-324

DOI: 10.1051/jphyscol:1983548

B. Balland

B. Remaki

P. Pinard

E. Mercier

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