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PLASMA CVD USING ORGANOMETALLIC COMPOUNDS

H. SUHR, J. BALD, L. DEUTSCHMANN, A. ETSPÜLER, E. FEURER, H. GRÜNWALD, C. HAAG, H. HOLZSCHUH, C. OEHR, S. REICH et al. (5 more)

J. Phys. Colloques, 50 C5 (1989) C5-739-C5-746

DOI: 10.1051/jphyscol:1989589

H. SUHR

J. BALD

L. DEUTSCHMANN

A. ETSPÜLER

E. FEURER

H. GRÜNWALD

C. HAAG

H. HOLZSCHUH

C. OEHR

S. REICH

R. SCHMID

I. TRAUS

B. WAIMER

A. WEBER

H. WENDEL

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