Supplément au Journal de Physique Colloques

SIMULATION OF SOURCE/DRAIN STRUCTURES FOR SUBMICRON MOSFETs WITH AND WITHOUT PREAMORPHIZATION

M. ORLOWSKI, C. MAZURÉ et L. MADER

J. Phys. Colloques, 49 C4 (1988) C4-557-C4-560

DOI: 10.1051/jphyscol:19884117

M. ORLOWSKI

C. MAZURÉ

L. MADER

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