Supplément au Journal de Physique Colloques

PLANAR MAGNETRON SPUTTERING OF TITANIUM NITRIDE ON HIGH SPEED STEEL

J. SKOGSMO, P. LINDBLAD et H. NORDEN

J. Phys. Colloques, 47 C7 (1986) C7-251-C7-255

DOI: 10.1051/jphyscol:1986743

J. SKOGSMO

P. LINDBLAD

H. NORDEN

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