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THE EVALUATION OF β-Si₃N₄ MICROSTRUCTURES USING PLASMA-ETCHING AS A PREPARATIVE TECHNIQUE

C. O'MEARA, P. NILSSON et G.L. DUNLOP

J. Phys. Colloques, 47 C1 (1986) C1-297-C1-301

DOI: 10.1051/jphyscol:1986143

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