Supplément au Journal de Physique Colloques

HIGHLY CONTROLLED DIFFUSION OF ION IMPLANTED ARSENIC BY MULTIPLE SCAN ELECTRON BEAM HEATING

D.J. Godfrey, R.A. McMahon, H. Ahmed et M . Dowsett

J. Phys. Colloques, 44 C5 (1983) C5-229-C5-233

DOI: 10.1051/jphyscol:1983536

D.J. Godfrey

R.A. McMahon

H. Ahmed

M . Dowsett

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