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INTERACTIONS OF Si (III) SURFACE WITH H₂, NH₃, SiH₄ MULTIPOLAR PLASMAS STUDIED BY IN SITU ELLIPSOMETRY

Y. Demay, P. Maurel et S. Gourrier

J. Phys. Colloques, 44 C10 (1983) C10-253-C10-256

DOI: 10.1051/jphyscol:19831053

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